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最近幾年來，多功能集成化傳感器研究受到了國(guó)內(nèi)外的廣泛關(guān)注，國(guó)內(nèi)外文獻(xiàn)報(bào)道，已經(jīng)有用在環(huán)境監(jiān)測(cè)、化學(xué)分析、生物保護(hù)等方面的集成傳感器。伴隨著MEMS技術(shù)與比技術(shù)的不斷發(fā)展，實(shí)現(xiàn)傳感器的集成化、多功能化成為可能。1995年，黑龍江大學(xué)溫殿忠教授提出了JFET壓／磁電效應(yīng)基本理論，用標(biāo)準(zhǔn)的松弛方法研究了結(jié)型場(chǎng)效應(yīng)晶體管的磁電效應(yīng)。
伴隨著傳感器和微電子技術(shù)的發(fā)展，人們可以在同一材料上制作幾種敏感元器件，制作成能夠檢測(cè)多個(gè)參量的集成化多功能傳感器。多功能傳感器主要有下面幾種不同的工作原理及結(jié)構(gòu)形式：幾種不同的敏感元器件制作在同一個(gè)硅片，形成集成化多功能傳感器，這種傳感器集成度高、體積小，每個(gè)敏感元器件的工作氛圍相同，容易實(shí)現(xiàn)補(bǔ)償與校正，這是多功能傳感器發(fā)展的一個(gè)方向。
幾種不問的敏感元器件組合在一起形成了一個(gè)傳感器，可以同時(shí)測(cè)量幾個(gè)參數(shù)，各敏感元器件是獨(dú)立的，假如將測(cè)量溫度與測(cè)量濕度敏感元件組合在一起．構(gòu)成溫濕度多功能傳感器；用同一個(gè)敏感元器件的不同效應(yīng)，得到不同的信息，如果將線圈作為敏感元件，在具有不同磁導(dǎo)率或介電常數(shù)物質(zhì)的作用下，表現(xiàn)出不同的電容與電感。同一個(gè)敏感元件在不同激勵(lì)下表現(xiàn)出不同特性，比方說傳感器施加不同的激勵(lì)電樂、電流，在不同溫度下，其特性不同，有時(shí)可相串于幾個(gè)不同的傳感器。有的多功能傳感器檢測(cè)出的幾個(gè)信息混在一起，就需要用信號(hào)處理的方法將各種信息進(jìn)行分離。多功能集成化傳感器將隨著工業(yè)等自動(dòng)化行業(yè)得到進(jìn)一步發(fā)展。
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